ESCO 電子科学株式会社

超微量の水素・水を観測することが昇温脱離分析装置(TDS)の使命です

Information

This site is available in Japanese. For outline about TDS, please refer to PDF file in English. Thank you. [ PDF(English) ]
TDS1200Uのカタログができました。(2016.1.26)
2015の論文タイトルを追加しました。(2016.1.26)
2014の論文タイトルを追加しました。(2014.12.17)
2014年6月末でQMG422コントローラ及びRFジェネレータの修理対応が終了します。海外メーカーでの修理なのでご確約できるのは弊社受付5月末日です。(2014.2.10)
※お問合せは、
受託測定行っております。 電子科学ワークス日記
サブゼロ温度から1700℃までの領域が測定できるようになりました。
2014.3.26

ディスプレイ

液晶ディスプレイ(LCD)、プラズマディスプレイ(PDP)、フィールドエミッションディスプレイ(FED)、有機/無機ELディスプレイ…etc. これらフラットパネルディスプレイの表示不良の原因であるパネル内構造物からのアウトガスの評価に活用されています。

半導体

半導体LSIに使われている絶縁膜(Low-K膜、High-K膜)の評価や、LSI製造工程におけるエッチング液残渣評価、レジスト残渣評価に利用されています。

鉄 鋼

鉄鋼材料が環境中の水素によって脆くなり、ある時突然破断する現象(水素脆性)が問題になっています。
鉄鋼中に含まれる脆化に関与する水素を抽出する手法として、昇温脱離分析(TDS)が注目されています。