적외선 가열형 TDS
적외선 가열형 승온이탈 분석장치 TDS1200Ⅱ는 초고진공중 시료를 프로그램 승온했을 때 이탈하는 분자를 질량분석계로 실시간 관측하는 분석 장치입니다.
고주파 가열형 TDS
고주파 가열형 승온이탈 분석장치 IH-TDS1700은 초고진공중에 시료를 전자기유도 가열했을 때 이탈하는 분자를 질량 분석계로 실시간 관측하는 분석장치입니다.
광여기 이탈 분석기 PSD
광여기 이탈 분석장치(PSD)는 진공 자외선(120~400 nm)을 시료에 조사하고, 그 최표면으로부터 이탈해 오는 분자를 질량 분석계로 관측하는 분석 장치입니다.
장비 수탁 개발
전자과학에서는, 승온이탈 분석장치 이외에도 의뢰받은 분석장치를 구체화하는 일을 하고 있습니다. 기밀 취급이 많아, 소개 할 수 있는 것이 한정되기 때문에 공개 가능한 장치를 소개하고 있습니다.