PMMA 실험데이터
PMMA (폴리메틸 메타크릴레이트, 아크릴)의 광이탈 실험을 장치의 원리검증을 위해 실시했습니다.확인하는 것은 시료가 빛을 흡수해서 파장마다 다른 성분이 이탈하는 것입니다.
그림 1은 PMMA막의 실온에서의 광이탈 데이터입니다.
170nm와 210nm에서 메틸기, 에칠기의 이탈을 확인할 수 있습니다.
그림1 PMMA막의 실온에서의 광이탈데이터
그림 2는 동일한 PMMA막의 실온에서의 광이탈 데이터입니다만, 각각 다른 날에 측정된 3개의 샘플의 질량수 29를 비교한 것입니다.
각 측정간에 질량분석계의 신호증폭율을 변경하고 또 샘플조제도 개별적으로 실시했기 때문에 작은 신호에 다소의 편차가 보입니다.
그림2 PMMA막의 경시변화의 모습
그림 3도 PMMA막의 실온시의 광이탈 데이터입니다. 이 데이터는 하나의 샘플을 초고진공중에 둔채로 반복하여 광이탈을 실시한 것입니다. 1회째 데이터만 다른 신호형상을 하고 있습니다.
또、광이탈 측정후의 PMMA막의 두께를 측정했더니、1회의 광이탈측정에서 4nm의막두께감소가 보였습니다.
이 점에서 1회째가 대기의 영향을 받은 PMMA막、2회쨰 이후가 순수한 PMMA막의 데이터를 나타내고 있다고 생각됩니다.
그림3 동일 샘플을 연속해서 4회 측정한 결과