污染設備的樣品
含有易升華金屬（蒸汽壓力高的金屬）的樣品
大量金屬升華可能會沉積在QMS分析管，真空計和視口中，從而導致性能下降和故障。
此外，由于氣相沉積在腔室內壁和零件上，腔室表面的清潔度降低，脫附氣體增多。
在這種情況下，需要清潔腔室內壁或更換部件。
蒸汽壓高的Zn和Mg在低溫下會升華，要特別注意。
具有高蒸汽壓力的金屬的示例（Zn，Mg，Pb，In，Mn，Ga，Ag，Sn，Al，Cu等）
含鹵素的樣品
當含有鹵素（特別是氟）的成分脫離時，鹵素會滯留在主室或檢測器中。
含有有機化合物的樣品
當大量有機化合物被加熱到分解溫度或更高時，它們產生熱分解，分解成分散落，污染主室和檢測器。
主室需要烘烤，清潔和更換部件。
釋放大量氣體的樣品
測量釋放超過渦輪分子泵和QMS允許壓力的氣體量的樣品，即使是不污染設備的成分，也會導致渦輪分子泵和QMS失效。
在測量可能污染的樣品時，建議進行預測量。
・減慢升溫速度。（每分鐘10℃左右）
・設定為Bar模式和Scan模式。
・盡量減少試料量。
・如果檢測到上述成分，則不進一步升高溫度。