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TDS1200Ⅱ - ESCO | 電子科學股份有限公司

TDS1200Ⅱ

TDS1200維護

烘烤

安裝隔熱套

  • 使用軟件關閉質譜儀(QMS)的SEM和燈絲。
  • 按QMS上的電源開關以關閉QMS電源。
  • 拔下連接至QMS控製器的電源線和通信電纜。
  • 使用六角扳手擰松安裝螺釘,卸下QMS控製器。
  • 檢查溫度傳感器的安裝。
  • 在每個觀察口上安裝保護罩。
  • 卸下上熱電偶引入端子連接器。
  • 裝上隔熱套。

tds1200baking01

隔熱套有兩個,一個是主室部分,另一個是樣品轉移機構部分。
主室部分的隔熱護套安裝時覆蓋在設備的前側,並用後側和上部的魔術貼紮帶固定。
在後面,安裝時要小心,因為真空計和渦輪分子泵的間隙很小。

設置烘焙控製器

  • 在觸摸屏上設置烘烤時間或結束日時。

    touchpanel04
  • 按開始按鈕開始。
  • 以上操作後開始烘烤,升溫至設定溫度。
  • 當達到設定時間或設定日時時,輸給加熱器的電力會被切斷。

烘焙後處理

  • 等待溫度降至接近室溫。
  • 拆下隔熱套,安裝QMS控製器後接線,使各部分恢復原位。

我們建議您每年更換一次旋轉泵油。

  • 確保 RP 主體是冷的。
  • 拆下快速夾和金屬連接器。
  • 打開加油口。
  • 處理放油口,使油不溢出,然後打開放油口。小心,因為油會一下子流出來。
  • 當油完全排出後,關閉排油口。
  • 從進油口註入規定量的油。
  • 關閉進油口並按相反順序組裝。

註意事項

  • 使用過的油可能含有劇毒物質,更換油時應佩戴防護眼鏡和耐油、耐化學品的手套。
  • 在地板上放一塊保護板,這樣在卸載 RP 時油不會四處散落。
  • 剛停止 RP 後,油可能很熱,可能會導致燙傷。
  • 正確處理油。
  • 切勿使用我們提供的油或製造商的原裝油以外的任何油。
  • 由於是重物,工作時請註意不要掉落。
  • 應由熟悉更換的人員執行更換工作。
  • 如果您對產品有任何咨詢或疑問,請隨時與我們聯系。
  • 聯系我們

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