隔熱套有兩個,一個是主室部分,另一個是樣品轉移機構部分。
主室部分的隔熱護套安裝時覆蓋在設備的前側,並用後側和上部的魔術貼紮帶固定。
在後面,安裝時要小心,因為真空計和渦輪分子泵的間隙很小。
TDS1200維護
烘烤
安裝隔熱套
- 使用軟件關閉質譜儀(QMS)的SEM和燈絲。
- 按QMS上的電源開關以關閉QMS電源。
- 拔下連接至QMS控製器的電源線和通信電纜。
- 使用六角扳手擰松安裝螺釘,卸下QMS控製器。
- 檢查溫度傳感器的安裝。
- 在每個觀察口上安裝保護罩。
- 卸下上熱電偶引入端子連接器。
- 裝上隔熱套。
設置烘焙控製器
- 在觸摸屏上設置烘烤時間或結束日時。
- 按開始按鈕開始。
- 以上操作後開始烘烤,升溫至設定溫度。
- 當達到設定時間或設定日時時,輸給加熱器的電力會被切斷。
烘焙後處理
- 等待溫度降至接近室溫。
- 拆下隔熱套,安裝QMS控製器後接線,使各部分恢復原位。
我們建議您每年更換一次旋轉泵油。
- 確保 RP 主體是冷的。
- 拆下快速夾和金屬連接器。
- 打開加油口。
- 處理放油口,使油不溢出,然後打開放油口。小心,因為油會一下子流出來。
- 當油完全排出後,關閉排油口。
- 從進油口註入規定量的油。
- 關閉進油口並按相反順序組裝。
註意事項
- 使用過的油可能含有劇毒物質,更換油時應佩戴防護眼鏡和耐油、耐化學品的手套。
- 在地板上放一塊保護板,這樣在卸載 RP 時油不會四處散落。
- 剛停止 RP 後,油可能很熱,可能會導致燙傷。
- 正確處理油。
- 切勿使用我們提供的油或製造商的原裝油以外的任何油。
- 由於是重物,工作時請註意不要掉落。
- 應由熟悉更換的人員執行更換工作。