啟動和停止IH-TDS1700
啟動設備
1. 打開斷路器
打開設備后面板上的斷路器。
2. 啟動
按觸摸面板上的“Start Up（開始向上）”按鈕。
等待各種傳感器響應10秒鐘，如無異常，則切換到“啟動/停止”頁面。
3. 啟動
按住觸摸屏上的“Launch（啟動）”按鈕3秒鐘。
設備內部的可編程Logic控制器(PLC）開始啟動步驟，每個真空泵和閥門自動控制運行。
如果主腔的消息是“正常運行”，則主腔的啟動完成。
如果進料固定室息為“正常運行”，則進料固定室啟動完成。
| 注意 | 在啟動操作之前，請檢查電源，氮氣和壓縮空氣的供應。 |
|---|
停止設備
1. 關閉QMS燈絲
通過TDS測量軟件或燈絲管理器關閉QMS燈絲，關閉SEM。
2. 停止
按住觸摸面板上“Start-Stop（啟動/停止）”選項卡上的“Stop（停止）”按鈕3秒鐘。
設備內部的可編程Logic控制器(PLC）開始停止步驟，并自動控制每個真空泵和每個閥門。
如果主腔室的消息為“停止”，則主腔室停止完成。
如果進料固定消息顯示為“停止”，則表示進料固定室停止完成。
| 註釋 | 完全停止TMP1可能需要20分鐘或更長時間。 |
|---|---|
| 停止序列開始后，QMS電源關閉。 |
3. 關閉斷路器
如果要切斷設備的電源，請關閉背底面板上的電源斷路器。
當電源斷路器關閉時，觸摸屏PLC的電源也被切斷。
| 註釋 |
當斷路器關閉時，IH溫度控制的PID值將被初始化。 其他要初始化的數字也有。 |
|---|