啟動和停止TDS1200和EMD-WA1000S/W
裝置的啟動方法
●裝置啟動
1.事先確認。
・漏電斷路器OFF。
・供給壓縮空氣。(0.01～0.02 MPa)
・RP1開關斷開。
2.將裝置背面的斷路器設為ON。
3.按下裝置正面面板上的RESET開關。
●啟動主室排氣系統
1.事先確認。
·主室關閉，機器安裝正確。
·主室排氣閥關閉。
·AUTO/MANUAL開關為MANUAL。
·MV、VV、RV、GV開關為CLOSE。
·RP1開關斷開。
·RP1排氣閥關閉。
·供給排氣用氮氣和閥驅動用壓縮空氣。（0.01～0.02 MPa)
·主室在大氣壓以上。
2.按下RP1的ON開關，啟動RP1。
3.按下BV1的OPEN開關，粗拉主腔室。
等待排氣聲音變小。（約1分鐘）
4.按下TMP1控製器的START開關，啟動TMP1。
等到TMP1正常運行。（約10分鐘）
5.按下真空計的ON開關打開電源，按下IG1開關使燈絲點亮。
6.打開氮氣吹掃閥，將吹掃用氮氣供給TMP1。
7.打開質譜儀，等待主室壓力小於1E-5Pa。
●啟動進料固定室排氣系統
1.事先確認。
·試樣導入口關閉，機器安裝正確。
·AUTO/MANUAL開關為MANUAL。
·MV、VV、RV、GV開關為CLOSE。
·RP2開關斷開。
·氮氣（排氣使用氣體）和壓縮空氣（閥驅動用）正常供給。（0.01～0.02 MPa)
·RP2排氣閥及TMP2排氣閥關閉。
2.按下RP2的ON開關，啟動RP2，開始TMP2的後側排氣。
等待排氣聲音變小。
※BV2自動打開，向TMP2控製器供電。
3.按下TMP2控制器的START开关，启动TMP2。
等待至正常運行。（約10分鐘
4.將RV開關設為OPEN，開始粗拉。
等待進料固定粗拉完成。（約5分鐘）
5.將RV開關設為CLOSE，關閉RV。
6.將MV開關設為OPEN，打開主閥，開始TMP2的排氣。
●備註
RP1：旋轉泵1
BV1：背閥1
TMP1：渦輪分子泵1
RP2：旋轉泵2
BV2：背閥2
TMP2：渦輪分子泵2
RV：旋轉泵
MV：主閥
按鈕開關（凹、亮燈）或肘節開關（上）表示ON或OPEN。
按鈕開關（凸、熄滅）或肘節開關（下）表示OFF或CLOSE。
装置的停止方法
●停止主室排氣系統
1.使用TDS測量軟件或燈絲管理器將質譜儀的燈絲及SEM關閉後，關閉電源開關。
2.將真空計的IG1設為OFF，切斷電源。
3.按下TMP1控製器的STOP開關，停止TMP1。
4.按下BV1的CLOSE開關，關閉反向閥。
5.TMP1停止前等待30分鐘左右。
請從視口中確認葉片停止。
6.按下RP1的OFF開關，使RP1停止。
7.打開RP1的通氣閥，在RP1的吸氣側通氮氣。
流量計浮子下降後，關閉RP1的排氣閥。
●主室的大氣開放
1. 將標準氣體·氮氣切換閥（黑色旋鈕）的尖端朝向下側（氮氣管路側）。
2.打開主室排氣閥，進行氮氣排氣。
氮氣流入主室內時，氮氣流量計的浮子會移動。
3.氮氣流量計的浮子下降後，關閉主室通氣閥。
4.關閉氮氣吹掃閥，停止向TMP1供給吹掃用氮氣。
●停止進料固定室排氣系統
1. 將AUTO/MANUAL開關設為MANUAL。
2.將MV開關設為CLOSE並關閉MV。
3.將VV開關設為OPEN，對進料固定室進行氮氣排氣，
當氮氣流入進料固定室內時，氮氣流量計的浮子會移動。
4.將VV開關設為CLOSE，關閉VV。
5.按下TMP2控製器的STOP開關，等待10分鐘左右直至TMP2停止。
6.按下RP2的OFF開關，使RP2停止。
自動關閉TMP2控製器的電源供給，液晶畫面顯示warning。
※即使關閉電源，渦輪分子泵控製器的液晶畫面也會在旋轉停止後10分鐘左右繼續顯示。
7.打開RP2排氣閥，在RP2的吸氣側通氮氣。
氮氣流量計的浮子下降後，關閉RP2排氣閥。
●裝置停止
1.關閉設備背面的斷路器。
●備註
RP1：旋轉泵1
BV1：背閥1
TMP1：渦輪分子泵1
RP2：旋轉泵2
BV2：背閥2
TMP2：渦輪分子泵2
RV：旋轉泵
MV：主閥
按鈕開關（凹、亮燈）或肘節開關（上）表示ON或OPEN。
按鈕開關（凸、熄滅）或肘節開關（下）表示OFF或CLOSE。