光照热脱附质谱仪 - ESCO | 电子科学股份有限公司

光照热脱附质谱仪的特点

光照热脱附质谱仪(PSD)是一种用真空紫外线（120-400纳米）照射样品，并用质谱仪观察从其最表面脫附的分子的分析仪。

通过扫描照射波长，可以了解每个波长的脱离成分的差异，并可用于分析样品表面的污染物，样品最表面的结构，以及样品真空紫外线对样品的影响等。

此外，利用热支持功能，可以观察指定温度下的光激发脱离现象，有助于设计用于半导体，显示器，太阳能电池等的热和光工艺。

进料固定室设备

我们的分析仪里，都配备了进料固定室，以提高测量效率和维持高真空环境。

真空紫外线光源

在氩气中由³⁺：YAG激光器产生的激光激发等离子体产生从真空紫外线到可见引起每个照射波长的脱附。波长扫描可以设置为从长波长到短波长或从短波长到长波长。

热支持型

真空紫外线照射引起的光激发脱离是通过增加温度来促进的。利用我们的TDS技术，我们可以在一定温度下保持样品并进行真空紫外线照射。

光照热脱附质谱仪的结构

光照热脱附质谱仪由产生真空紫外线的真空紫外光源部分和检测从样品中脱附的成分的测量部分组成。

光照热脱附质谱仪的结构

真空紫外光源

向填充有氩气的光源腔室中导入Nd³⁺:YAG激光器时,氩气被激发,产生等离子体。这种激光激发等离子体发射从真空紫外到可见区域的宽波长的光。通过用衍射光栅分光的单色光照射样品，观测每个照射波长的脱附。可用波长由安装的衍射光栅决定，但该器件的标准规格为120至400纳米。

进料固定室

进料固定室是提高测量效率（高吞吐量）和灵敏度的关键。我们的进料固定室和样品输送机制使我们能够将样品快速地导入超高真空分析室。
如果没有进料固定室，则每次交换样品时，分析室都必须对空气开放，但一旦开放空气，分析室中就会吸附大量的空气成分（特别是水分），并需要很长的时间才能完全排出。

分析室

由于真空紫外线照射而产生的光激发脱离是通过增加温度来促进的。利用我们的TDS技术，我们可以在一定温度下保持样品并进行真空紫外线照射。

分析室的配置与升温脱附质谱仪一样。即使在高温区域，也可以在抑制背景水平上升最小化的情况下加热样品。真空紫外光源部的分光腔和测定部的分析腔通过MgF₂的带窗法兰隔开连接。