启动和停止TDS1200和EMD-WA1000S/W
装置的启动方法
●装置启动
1.事先确认。
・漏电断路器OFF。
・供给压缩空气。(0.01～0.02 MPa)
・RP1开关断开。
2. 将装置背面的断路器设为ON。
3. 按下装置正面面板上的RESET开关。
●启动主室排气系统
1.事先确认。
·主室关闭，机器安装正确。
·主室排气阀关闭。
·AUTO/MANUAL开关为MANUAL。
·MV、VV、RV、GV开关为CLOSE。
·RP1开关断开。
·RP1排气阀关闭。
·供给排气用氮气和阀驱动用压缩空气。（0.01～0.02 MPa)
·主室在大气压以上。
2.按下RP1的ON开关，启动RP1。
3.按下BV1的OPEN开关，粗拉主腔室。
等待排气声音变小。（约1分钟）
4.按下TMP1控制器的START开关，启动TMP1。
等到TMP1正常运行。（约10分钟）
5.按下真空计的ON开关打开电源，按下IG1开关使灯丝点亮。
6.打开氮气吹扫阀，将吹扫用氮气供给TMP1。
7.打开质谱仪，等待主室压力小于1E-5Pa。
●启动进料固定室排气系统
1.事先确认。
·试样导入口关闭，机器安装正确。
·AUTO/MANUAL开关为MANUAL。
·MV、VV、RV、GV开关为CLOSE。
·RP2开关断开。
·氮气（排气使用气体）和压缩空气（阀驱动用）正常供给。（0.01～0.02 MPa)
·RP2排气阀及TMP2排气阀关闭。
2.按下RP2的ON开关，启动RP2，开始TMP2的后侧排气。
等待排气声音变小。
※BV2自动打开，向TMP2控制器供电。
3.按下TMP2控制器的START开关，启动TMP2。
等待至正常运行。（约10分钟）
4.将RV开关设为OPEN，开始粗拉。
等待进料固定粗拉完成。（约5分钟）
5.将RV开关设为CLOSE，关闭RV。
6.将MV开关设为OPEN，打开主阀，开始TMP2的排气。
●备注
RP1：旋转泵1
BV1：背阀1
TMP1：涡轮分子泵1
RP2：旋转泵2
BV2：背阀2
TMP2：涡轮分子泵2
RV：旋转泵
MV：主阀
按钮开关（凹、亮灯）或肘节开关（上）表示ON或OPEN。
按钮开关（凸、熄灭）或肘节开关（下）表示OFF或CLOSE。
装置的停止方法
●停止主室排气系统
1.使用TDS测量软件或灯丝管理器将质谱仪的灯丝及SEM关闭后，关闭电源开关。
2.将真空计的IG1设为OFF，切断电源。
3.按下TMP1控制器的STOP开关，停止TMP1。
4.按下BV1的CLOSE开关，关闭反向阀。
5.TMP1停止前等待30分钟左右。
请从视口中确认叶片停止。
6.按下RP1的OFF开关，使RP1停止。
7.打开RP1的通气阀，在RP1的吸气侧通氮气。
流量计浮子下降后，关闭RP1的排气阀。
●主室的大气开放
1.将标准气体·氮气切换阀（黑色旋钮）的尖端朝向下侧（氮气管路侧）。
2.打开主室排气阀，进行氮气排气。
氮气流入主室内时，氮气流量计的浮子会移动。
3.氮气流量计的浮子下降后，关闭主室通气阀。
4.关闭氮气吹扫阀，停止向TMP1供给吹扫用氮气。
●停止进料固定室排气系统
1.将AUTO/MANUAL开关设为MANUAL。
2.将MV开关设为CLOSE并关闭MV。
3.将VV开关设为OPEN，对进料固定室进行氮气排气。
当氮气流入进料固定室内时，氮气流量计的浮子会移动。
4.将VV开关设为CLOSE，关闭VV。
5.按下TMP2控制器的STOP开关，等待10分钟左右直至TMP2停止。
6.按下RP2的OFF开关，使RP2停止。
自动关闭TMP2控制器的电源供给，液晶画面显示warning。
※即使关闭电源，涡轮分子泵控制器的液晶画面也会在旋转停止后10分钟左右继续显示。
7.打开RP2排气阀，在RP2的吸气侧通氮气。
氮气流量计的浮子下降后，关闭RP2排气阀。
●装置停止
1.关闭设备背面的断路器。
●备注
RP1：旋转泵1
BV1：背阀1
TMP1：涡轮分子泵1
RP2：旋转泵2
BV2：背阀2
TMP2：涡轮分子泵2
RV：旋转泵
MV：主阀
按钮开关（凹、亮灯）或肘节开关（上）表示ON或OPEN。
按钮开关（凸、熄灭）或肘节开关（下）表示OFF或CLOSE。