TDS1200和EMD-WA1000S/W维护
烘烤
安装隔热套
- 使用软件关闭质谱仪(QMS)的SEM和灯丝。
- 按QMS上的电源开关以关闭QMS电源。
- 拔下连接至QMS控制器的电源线和通信电缆。
- 使用六角扳手拧松安装螺钉，卸下QMS控制器。
- 检查温度传感器的安装。
- 在每个观看端口上安装保护罩。
- 卸下上热电偶引入端子连接器。
- 装上隔热套。
隔热套有两个，一个是主室部分，另一个是样品转移机构部分。
主室部分的隔热护套安装时覆盖在设备的前侧，并用后侧和上部的魔术贴扎带固定。在后面，安装时要小心，因为真空计和涡轮分子泵的间隙很小。
烘焙控制器设置
- 在烘焙计时器中设置烘焙时间。
- 打开烘烤控制器电源断路器。
- 按下复位启动开关。
当按下复位启动开关时，灯点亮，向烘烤温度调节器和烘烤计时器供电，过热指示灯复位。
在上述操作中，烘烤开始，加热到温度调节器设定的温度。
当达到定时器设置的时间时，加热停止。
烘烤温度调节器的操作
- 按下温度显示切换键，在主室的当前温度和设定温度显示之间切换。
- 在显示温度设置状态下，按设置键（向上）（向下）更改设置。
- 使用温度显示切换键确认设置并显示当前温度。
烘烤后的处理
- 等待温度降至接近室温，然后关闭烘烤控制器断路器。
- 拆下隔热护套，安装QMS控制器，连接并将每个部件放回原位。
旋转泵油更换程序
- 按照说明停止设备。
- 验证旋转泵（RP）主体是否冷却。
- 卸下RP固定用(4处)螺母、快速夹具、金属连接器、温度保险丝,将RP从框体卸下。
- 打开注油口。
- 处理排油管使其不溢油，然后打开排油管。小心油会一下子冒出来。
- 油排完后，关闭排油器。
- 从机油加注口加入规定量的机油。
- 关闭机油加注口，反向将RP安装到机箱上。
注意事项
- 由于使用过的油可能含有高毒性物质，因此在更换时应戴上防护眼镜或耐油耐药手套。
- 在地板上铺上保护片，以防油在卸下RP时散落在周围。
- 刚使用后RP时机油可能很热，有烫伤的危险。
- 对油的处理进行适当的处理。
- 绝对不能使用本公司提供的或者制造商纯正机油以外的机油。
- 因为是重物，所以在操作时要小心掉落。
- 请熟悉更换的人员进行更换操作。