隔热套有两个,一个是主室部分,另一个是样品转移机构部分。
主室部分的隔热护套安装时覆盖在设备的前侧,并用后侧和上部的魔术贴扎带固定。
在后面,安装时要小心,因为真空计和涡轮分子泵的间隙很小。
TDS1200维护
烘烤
安装隔热套
- 使用软件关闭质谱仪(QMS)的SEM和灯丝。
- 按QMS上的电源开关以关闭QMS电源。
- 拔下连接至QMS控制器的电源线和通信电缆。
- 使用六角扳手拧松安装螺钉,卸下QMS控制器。
- 检查温度传感器的安装。
- 在每个观察口上安装保护罩。
- 卸下上热电偶引入端子连接器。
- 装上隔热套。
烘焙的设置
- 在触摸屏上设置烘烤时间或结束日时。
- 按开始按钮开始。
- 以上操作后开始烘烤,升温至设定温度。
- 当达到设定时间或设定日时时,输给加热器的电力会被切断。
烘烤后处理
- 等待温度降至接近室温。
- 取下绝缘护套,装上 QMS 控制器连接电线,并将每个部件恢复到原始状态。
更换旋转泵(RP)油的顺序
我们建议您每年更换一次旋转泵油。
- 按照说明停止设备。
- 确保 RP 主体是冷的。
- 拆下快速夹和金属连接器。
- 打开加油口。
- 处理放油口,使油不溢出,然后打开放油口。小心,因为油会一下子流出来。
- 当油完全排出后,关闭排油口。
- 从进油口注入规定量的油。
- 关闭进油口并按相反顺序组装。
注意事项
- 使用过的油可能含有剧毒物质,更换油时应佩戴防护眼镜和耐油、耐化学品的手套。
- 在地板上放一块保护板,这样在卸载 RP 时油不会四处散落。
- 刚停止 RP 后,油可能很热,可能会导致烫伤。
- 正确处理油。
- 切勿使用我们提供的油或制造商的原装油以外的任何油。
- 由于是重物,工作时请注意不要掉落。
- 应由熟悉更换的人员执行更换工作。