污染设备的样品
含有易升华金属（蒸汽压力高的金属）的样品
大量金属升华可能会沉积在QMS分析管，真空计和视口中，从而导致性能下降和故障。
此外，由于气相沉积在腔室内壁和零件上，腔室表面的清洁度降低，脱附气体增多。
在这种情况下，需要清洁腔室内壁或更换部件。
蒸汽压高的Zn和Mg在低温下会升华，要特别注意。
具有高蒸汽压力的金属的示例（Zn，Mg，Pb，In，Mn，Ga，Ag，Sn，Al，Cu等）
含卤素的样品
当含有卤素（特别是氟）的成分脱离时，卤素会滞留在主室或检测器中。
含有有机化合物的样品
当大量有机化合物被加热到分解温度或更高时，它们产生热分解，分解成分散落，污染主室和检测器。
主室需要烘烤，清洁和更换部件。
释放大量气体的样品
测量释放超过涡轮分子泵和QMS允许压力的气体量的样品，即使是不污染设备的成分，也会导致涡轮分子泵和QMS失效。
在测量可能污染的样品时，建议进行预测量。
・减慢升温速度。（每分钟10℃左右）
・设定为Bar模式和Scan模式。
・尽量减少试料量。
・如果检测到上述成分，则不进一步升高温度。