启动和停止IH-TDS1700
启动设备
1. 打开断路器
打开设备后面板上的电源断路器。
2. 启动
按触摸面板上的“Start Up（开始向上）”按钮。
等待各种传感器响应10秒钟，如无异常，则切换到“启动/停止”页面。
3. 启动
按住触摸屏上的“Launch（启动）”按钮3秒钟。
设备内部的可编程Logic控制器(PLC）开始启动步骤，每个真空泵和阀门自动控制运行。
如果主腔的消息是“正常运行”，则主腔的启动完成。
如果进料固定信息为“正常运行”，则进料固定室启动完成。
| 注意 | 在启动操作之前，请检查电源，氮气和压缩空气的供应。 |
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停止设备
1. 关闭QMS灯丝
通过TDS测量软件或灯丝管理器关闭QMS灯丝，关闭SEM。
2. 停止
按住触摸面板上“Start-Stop（启动/停止）”选项卡上的“Stop（停止）”按钮3秒钟。
设备内部的可编程Logic控制器(PLC）开始停止步骤，并自动控制每个真空泵和每个阀门。
如果主腔室的消息为“停止”，则主腔室停止完成。
如果进料固定消息显示为“停止”，则表示进料固定室停止完成。
| 注释 | 完全停止TMP1可能需要20分钟或更长时间。 |
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| 停止程序开始后，QMS电源关闭。 |
3. 关闭断路器
如果要切断设备的电源，请关闭背底面板上的断路器。
当电源断路器关闭时，触摸屏PLC的电源也被切断。
| 注释 |
当断路器关闭时，IH温度控制的PID值将被初始化。 其他要初始化的数字也有。 |
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