PMMA的实验数据
为了验证设备的原理，进行了PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯，丙烯酸酯）的光脱附 实验。这里要确认的是，样品吸收光，不同波长引起不同的成分脱附。
图1显示了PMMA膜在室温下的光脱附数据。
在170nm和210nm可以看到甲基和乙基的脱附。
图1 PMMA膜室温光脱附数据
图2是相同的PMMA膜的室温时的光脱附数据,比较了隔日测定3个样品时的质量数29。
在每次测量期间，改变了质谱仪的信号放大率，样品制备也是单独进行的，因此发现了较小的信号偏差。
图2 PMMA膜随时间变化情况
图3也是PMMA膜室温下的光脱附数据。该数据是将一个样品静置在超高真空中 进行反复光脱附的结果。只有第1次的数据为不同的信号形状。
另外,测定光脱离测定后的PMMA膜的膜厚,发现1次光脱附测定中发现膜厚减少4nm。
由此可以认为,第1次结果为受到大气影响的PMMA膜的数据,第2次以后结果为纯净的PMMA膜的数据。
图3将同一样品连续测定4次的结果。