检修
对于安装了设备的用户，我们提供维护和检修的服务。请参照以下项目。
第001号预检验
| 实施时间 | 每年 |
|---|---|
| 标准工时 | 4.0H |
| 使用/更换部件 | 检查样本 |
| 备注 | 检查设备的现状。 |
第002号红外线灯更换
| 实施时间 | 每年 |
|---|---|
| 标准工时 | 0.5H |
| 使用・交換部品 | 红外灯[1] |
| 备注 | 设备规格不同，使用部件也不同。 |
第003号油雾分离器元件更换
| 实施时间 | 每年 |
|---|---|
| 标准工时 | 0.5H |
| 使用・交換部品 | 元素：20-H026-00-050[1罐] |
| 备注 | 设备规格不同，使用部件也不同。 |
004号旋转泵换油
| 实施时间 | 每6个月 |
|---|---|
| 标准工时 | 2.0H |
| 使用/更换部件 | 旋转泵油 |
| 备注 | 根据设备规格和制造商的不同，使用的部件也会不同。 |
第005号加热样品台更换
| 实施时间 | 每年 |
|---|---|
| 标准工时 | 2.0H |
| 使用/更换部件 | 石英台，热电偶，ICF密封垫 |
| 备注 | 设备规格不同，使用部件也不同。 |
第006号加热室中的清洁
| 实施时间 | 每年 |
|---|---|
| 标准工时 | 0.5H |
| 使用/更换部件 | ICF密封垫 |
第007号进料固定室中的清洁
| 实施时间 | 每两年 |
|---|---|
| 标准工时 | 3.0H |
| 使用/更换部件 | ICF密封垫 |
第008号样品转移机构板弹簧更换
| 实施时间 | 每两年 |
|---|---|
| 标准工时 | 1.0H |
| 使用/更换部件 | 板簧、ICF密封垫 |
009号红外导入机构部分研磨
| 实施时间 | 每两年（根据机构部污染状况） |
|---|---|
| 标准工时 | 1.0H |
| 使用/更换部件 | ICF密封垫 |
010 TMP（2）轴承更换
| 实施时间 | 3年毎 |
|---|---|
| 标准工时 | 3.0H |
| 使用/更换部件 | 轴承、ICF密封垫 |
| 备注 | 设备规格不同，使用部件也不同。 |
No.011油雾过滤器更换
| 实施时间 | 每4年(根据污染状况) |
|---|---|
| 标准工时 | 0.5H |
| 使用/更换部件 | 过滤器 |
第012号闸阀更换
| 实施时间 | 每4年 |
|---|---|
| 标准工时 | 4.0H |
| 使用/更换部件 | 闸阀、ICF密封垫 |
| 备注 | 取决于设备使用频率。 |
第013号旋转泵更换
| 实施时间 | 每5年 |
|---|---|
| 标准工时 | 2.0H |
| 使用/更换部件 | 旋转泵，防震橡胶 |
第014号QMS分辨率/质量轴调整
| 实施时间 | 每年 |
|---|---|
| 标准工时 | 2.0H |
| 使用/更换部件 | 调节用标准气体 |
015 QMS离子源交换
| 实施时间 | 每两年（取决于污染情况） |
|---|---|
| 标准工时 | 2.0H |
| 使用/更换部件 | 离子源、ICF密封垫 |
第016号真空启动烘烤组
| 实施时间 | 每年 |
|---|---|
| 标准工时 | 2.0H |
第017号检修后的性能确认
| 实施时间 | 每年 |
|---|---|
| 标准工时 | 5.0H |
| 使用/更换部件 | 检查样本 |
| 备注 | 维护的时候，一定要实施。 |
第018号QMS标准曲线测量
| 实施时间 | 每月 |
|---|---|
| 标准工时 | 1.0H |
| 使用/更换部件 | 离子注入晶片 |
| 备注 | 烘烤1天以上后进行。 |
第019号QMS特性校正测量
| 实施时间 | 每年 |
|---|---|
| 标准工时 | 3.0H |
| 使用/更换部件 | 离子注入晶片（各种类型） |
| 备注 | 烘烤1天以上后进行。 |