トラブル対処
ロードロックチャンバーの真空度が上がりません
試料交換窓を手で押し付けて真空度が変化するならば、試料交換窓のＯリングにゴミが付着している可能性があります。
Ｏリング上のゴミを取り除いてください。
サンプルからの脱離が多い場合も真空度が上がりません。
ロードロックの真空計が表示されません
ロードロックチャンバー内のN2量が少なく、真空計の放電が起こりにくい状態になっています。
以下の手順を実行してください。
1.[AUTO/MANU]切替えスイッチをMANUする。
2.[MV]スイッチをCLOSEにする。
3.[VV]スイッチをOPENにして、5秒たったらCLOSEにする。
4.[RV]スイッチをOPENにする。
5.ピラニ真空スイッチの裏面の赤LEDが点灯したら、[RV]スイッチをCLOSEにする。
6.ペニング真空計コントローラの[HV]スイッチを押す。
7.真空表示が出たら、[MV]をOPENにする。
8.[AUTO RESET]スイッチを押して、[AUTO/MANU]スイッチをAUTOにする。
あとは通常の立ち上げ手順をおこないます。
AUTOランプが点灯しません
以下の手順を実行してください。
1.[AUTO/MANU]切替えスイッチをMANUする。
2.[MV]スイッチをCLOSEにする。
3.[RV]スイッチをOPENにする。
4.ピラニ真空スイッチの裏面の赤LEDが点灯したら、[RV]スイッチをCLOSEにする。
5.[RV]スイッチをCLOSEにする。
6.真空表示が出たら、[MV]をOPENにする。
7.[AUTO RESET]スイッチを押して、[AUTO/MANU]スイッチをAUTOにする。
あとは通常の手順で使用してください。
MVランプが点灯しません
以下の手順を実行してください。
1.[AUTO/MANU]切替えスイッチをMANUにする。
2.[MV]スイッチをCLOSEにする。
3.[RV]スイッチをOPENにする。
4.ピラニ真空スイッチの裏面の赤LEDが点灯したら、[RV]スイッチをCLOSEにする。
5.[RV]スイッチをCLOSEにします。
6.真空表示が出たら、[MV]をOPENにする。
7.[AUTO RESET]スイッチを押して、[AUTO/MANU]スイッチをAUTOにする。
あとは通常の手順で使用してください。
TDSのメインチャンバーにサンプルが落下しました
・アウトガスの無いサンプル(例えば高温まで昇温したサンプルなど)であれば、オーバーホール時に拾ってください。測定に影響はありません。
・サンプル墜落後真空の引きが悪い、ステージベーキング時に異常な信号が出る場合は、至急墜落サンプルを除去してください。
TDSのメインチャンバーの真空度が上がりません
真空計のクリーニングのためデガスを30秒程度行ってください。
回復しない場合、チャンバーのベーキングやクリーニングを行う必要があります。
粉体サンプルがパージ時に飛散しました
・ロードロックチャンバーの分解掃除が必要です。放置しておくと、紛体がバルブ類に付着しリークの原因となる可能性があります。
・WA1000S、WA1000S/Wには粉体サンプル用のパージラインを増設することができます。
あるいはパージラインをパージバルブ→ニードルバルブの順に接続し、ニードルバルブでパージ流量を絞ることにより飛散させずにパージすることができます。
赤外線コントローラの電源が入りません
・冷却水の水圧もしくは、流量が不足している可能性がありますので確認してください。
・ヒューズが切れている可能性があります。 その場合、ヒューズ(15A)と赤外線ランプの交換が必要です。
到達真空度は良いのに真空引きが不良です
ロータリーポンプの性能が劣化している可能性があります。
オイルの交換等を行ってください。
オイル交換は1年に1度が目安ですが、脱離ガスの種類や量によっては早く劣化することもあります。
装置を停止しましたがベーキングしたほうがいいでしょうか？
12時間以上のベーキングを推奨します。
ベーキングの際は、Q-MassをOFF（電源切）としますので、ベーキング後にQ-Massのフィラメントを点灯させた後は3時間以上経ってから測定を行ってください。
