IH-TDS1700の起動と停止
装置本体の起動
1. 電源ブレーカーをON
装置裏面下パネルの電源ブレーカーをONにします。
2. スタートアップ
タッチパネルの「Start Up」ボタンを押します。
各種センサーの反応待ちが10秒間行われ、異常がなければ「起動・停止」ページに切り替わります。
3. 起動
タッチパネルの「起動」ボタンを3秒間押します。
装置内部のPLC（Programmable Logic Controller）により、起動シーケンスが始まり、各真空ポンプ・各バルブが自動制御で動作します。
メインチャンバーのメッセージが「通常運転」となれば、メインチャンバーの起動が完了です。
ロードロックのメッセージが「通常運転」となれば、ロードロックチャンバーの起動が完了です。
| 注意 | 起動操作を行う前に、電源・窒素ガス・圧縮空気の供給を確認してください。 |
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装置本体の停止
1. QMSフィラメントをOFF
TDS測定ソフトウェアあるいはフィラメントマネージャより、QMSのフィラメントをOFF、SEMをOFFにします。
2. 停止
タッチパネルの起動・停止タブの「停止」ボタンを3秒間押します。
装置内部のPLC（Programmable Logic Controller）により、停止シーケンスが始まり、各真空ポンプ・各バルブが自動制御されます。
メインチャンバーのメッセージが「停止」となれば、メインチャンバーの停止が完了です。
ロードロックのメッセージが「停止」となれば、ロードロックチャンバーの停止が完了です。
| ノート | TMP1の完全停止には、20分以上を要します。 |
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| 停止シーケンスが開始されると、QMSの電源がOFFになります。 |
3. 電源ブレーカーをOFF
装置への電源を遮断する場合は、裏面下パネルの電源ブレーカーをOFFにします。
電源ブレーカーをOFFにすると、タッチパネル・PLCの電源も遮断されます。
| ノート |
電源ブレーカーをOFFにすると、IH温度制御のPID値が初期化されます。 その他にも初期化される数値があります。 |
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