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TDS1200Ⅱ

TDS1200Ⅱの起動と停止

装置本体の起動

1. 電源ブレーカーをON

装置裏面下パネルの電源ブレーカーをONにします。

 

2. スタートアップ

タッチパネルの「Start Up」ボタンを押します。
各種センサーの反応待ちが10秒間行われ、異常がなければ「起動・停止」ページに切り替わります。

 

電源ブレーカをON

3. 起動

タッチパネルの「起動」ボタンを3秒間押します。

 

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装置内部のPLC(Programmable Logic Controller)により、起動シーケンスが始まり、各真空ポンプ・各バルブが自動制御で動作します。

メインチャンバーのメッセージが「通常運転」となれば、メインチャンバーの起動が完了です。

ロードロックのメッセージが「通常運転」となれば、ロードロックチャンバーの起動が完了です。

注意 起動操作を行う前に、電源・窒素ガス・圧縮空気の供給を確認してください。

装置本体の停止

1. QMSフィラメントをOFF

TDS測定ソフトウェアあるいはフィラメントマネージャより、QMSのフィラメントをOFF、SEMをOFFにします。

 

2. 停止

タッチパネルの起動・停止タブの「停止」ボタンを3秒間押します。
装置内部のPLC(Programmable Logic Controller)により、停止シーケンスが始まり、各真空ポンプ・各バルブが自動制御されます。

メインチャンバーのメッセージが「停止」となれば、メインチャンバーの停止が完了です。
ロードロックのメッセージが「停止」となれば、ロードロックチャンバーの停止が完了です。

ノート TMP1の完全停止には、20分以上を要します。
停止シーケンスが開始されると、QMSの電源がOFFになります。

3. 電源ブレーカーをOFF

装置への電源を遮断する場合は、裏面下パネルの電源ブレーカーをOFFにします。
電源ブレーカーをOFFにすると、タッチパネル・PLCの電源も遮断されます。

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