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TDS1200・WA1000S/W

TDS1200及びEMD-WA1000S/Wの起動と停止

装置の起動方法

●装置起動

1. 事前確認をします。

・漏電ブレーカーがOFFになっている。
・圧縮空気が供給されている。(0.01~0.02 MPa)
・RP1スイッチがOFFになっている。

2. 装置背面にあるブレーカーをONにします。

3. 装置正面のパネルにあるRESETスイッチを押します。

●メインチャンバー排気系の起動

1. 事前確認をします。

・メインチャンバーが閉じ、機器が正しく取付けられている。
・メインチャンバーベントバルブが閉じている。
・AUTO / MANUALスイッチがMANUALになっている。
・MV、VV、RV、GVスイッチがCLOSEになっている。
・RP1スイッチがOFFになっている。
・RP1ベントバルブが閉じている。
・ベント用窒素ガスとバルブ駆動用圧縮空気が供給されている。(0.01~0.02 MPa)
・メインチャンバーが大気圧以上になっている。

2. RP1のONスイッチを押して、RP1を起動します。

3. BV1のOPENスイッチを押してメインチャンバーを粗引きします。

排気音が小さくなるまで待ちます。(約1分)

 

4. TMP1コントローラのSTARTスイッチを押して、TMP1を起動します。

TMP1が正常運転になるまで待ちます。(約10分)

 

5. 真空計のONスイッチを押して電源を入れ、IG1スイッチを押してフィラメントを点灯させます。

6. 窒素パージバルブを開き、パージ用窒素をTMP1に供給します。

7. メインチャンバーの圧力が1E-5 Pa未満になるまで待ち、質量分析計の電源を入れます。


●ロードロックチャンバー排気系の起動

1. 事前確認をします。

・試料導入口が閉じ、機器が正しく取付けられている。
・AUTO / MANUALスイッチがMANUALになっている。
・MV、VV、RV、GVスイッチがCLOSEになっている。
・RP2スイッチがOFFになっている。
・窒素ガス(ベント使用ガス)と圧縮空気(バルブ駆動用)が供給されている。
・RP2ベントバルブ及びTMP2ベントバルブが閉じられている。

2. RP2のONスイッチを押して、RP2を起動しTMP2のバック側の排気を開始します。

排気音が小さくなるまで待ちます。
※自動的にBV2が開き、TMP2コントローラへ電源が供給されます。

3. TMP2コントローラのSTARTスイッチを押して、TMP2を起動します。

正常運転になるまで待ちます。(約10分)

4. RVスイッチをOPENにして、粗引きを開始します。

ロードロックの粗引きが完了するまで待ちます。(約5分)

5. RVスイッチをCLOSEにして、RVを閉じます。

6. MVスイッチをOPENにして、メインバルブを開き、TMP2による排気を開始します。

●備考

RP1:ロータリーポンプ1
BV1:バックバルブ1
TMP1:ターボ分子ポンプ1
RP2:ロータリーポンプ2
BV2:バックバルブ2
TMP2:ターボ分子ポンプ2
RV:ロータリーポンプ
MV:メインバルブ

プッシュスイッチ(凹、点灯)やトグルスイッチ(上)は、ONやOPENを意味します。
プッシュスイッチ(凸、消灯)やトグルスイッチ(下)は、OFFやCLOSEを意味します。


装置の停止方法

●メインチャンバー排気系の停止

1. 質量分析計のフィラメント及びSEMをTDS測定ソフトまたはフィラメントマネージャでOFFにした後、電源スイッチをOFFにします。

2. 真空計のIG1をOFFにし、電源を切ります。

3. TMP1のコントローラのSTOPスイッチを押して、TMP1を停止します。

4. BV1のCLOSEスイッチを押してバックバルブを閉めます。

5. TMP1が停止するまで30分ほど待ちます。

ビューポートから羽の停止を確認してください。

6. RP1のOFFスイッチを押して、RP1を停止させます。

7. RP1のベントバルブを開き、RP1の吸気側を窒素ベントします。

流量計フロートが下がったら、RP1のベントバルブを閉じます。

●メインチャンバーの大気開放

1. 標準ガス・窒素 切替バルブ(黒いツマミ)の尖部を下側(窒素ライン側)に向けます。

2. メインチャンバーベントバルブを開き、窒素ベントします。

窒素ガスがメインチャンバー内へ流入すると窒素ガス流量計のフロートが動きます。

3. 窒素ガス流量計のフロートが下がったら、メインチャンバーベントバルブを閉じます。 

4. 窒素パージバルブを閉じて、TMP1へのパージ用窒素の供給を止めます。


●ロードロックチャンバー排気系の停止
 

1. AUTO / MANUALスイッチをMANUALにします。

2. MVスイッチをCLOSEにして、MVを閉じます。

3. VVスイッチをOPENにして、ロックチャンバーを窒素ベントします。

窒素ガスがロードロックチャンバー内へ流入すると窒素ガス流量計のフロートが動きます。

4. VVスイッチをCLOSEにして、VVを閉じます。

5. TMP2コントローラのSTOPスイッチを押して、TMP2が停止するまで10分間ほど待ちます。

6. RP2のOFF スイッチを押して、RP2を停止させます。

自動的にTMP2のコントローラへの電源供給がOFFとなり、液晶画面にwarningが表示されます。
※ターボ分子ポンプコントローラの液晶画面は、電源供給をOFFにしても回転停止後10分程度は表示を続けます。

 

7. RP2ベントバルブを開き、RP2の吸気側を窒素ベントします。

窒素ガス流量計のフロートが下がったらRP2ベントバルブを閉じます。

●装置停止

1. 装置背面にあるブレーカーをOFFにします。

●備考

RP1:ロータリーポンプ1
BV1:バックバルブ1
TMP1:ターボ分子ポンプ1
RP2:ロータリーポンプ2
BV2:バックバルブ2
TMP2:ターボ分子ポンプ2
RV:ロータリーポンプ
MV:メインバルブ

プッシュスイッチ(凹、点灯)やトグルスイッチ(上)は、ONやOPENを意味します。
プッシュスイッチ(凸、消灯)やトグルスイッチ(下)は、OFFやCLOSEを意味します。

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