メニュー

オーバーホール

オーバーホール

装置を導入いただいたユーザー様に対して、メンテナンスやオーバーホールのご用命を承ります。
下記項目をご参照ください。

No.001 事前検査

実施時期 毎年 
標準作業時間 4.0H
使用・交換部品 チェック用サンプル一式
備考 装置の現状チェックを行います。

No.002 赤外線ランプ交換

実施時期 毎年 
標準作業時間 0.5H
使用・交換部品 赤外線ランプ[1]
備考 装置仕様により使用部品が異なります。

No.003 フォアライントラップエレメント交換

実施時期 毎年 
標準作業時間 0.5H
使用・交換部品 エレメント:20-H026-00-050[1缶]
備考 装置仕様により使用部品が異なります。

No.004 ロータリーポンプオイル交換

実施時期 6ヶ月毎 
標準作業時間 2.0H
使用・交換部品 ロータリーポンプオイル
備考 装置仕様・メーカーにより使用部品が異なります。

No.005 加熱試料台交換

実施時期 毎年 
標準作業時間 2.0H
使用・交換部品 石英ステージ、熱電対、ICFガスケット
備考 装置仕様により使用部品が異なります。

No.006 加熱チャンバー内の清掃

実施時期 毎年 
標準作業時間 0.5H
使用・交換部品 ICFガスケット

No.007 ロードロックチャンバー内の清掃

実施時期 2年毎 
標準作業時間 3.0H
使用・交換部品 ICFガスケット

No.008 試料移載機構板バネ交換

実施時期 2年毎 
標準作業時間 1.0H
使用・交換部品 板バネ、ガスケット

No.009 赤外導入機構部研磨

実施時期 2年毎(機構部汚染状況による) 
標準作業時間 1.0H
使用・交換部品 ガスケット

No.010 TMP(2)ベアリング交換

実施時期 3年毎 
標準作業時間 3.0H
使用・交換部品 ベアリング、ガスケット
備考 装置仕様により使用部品が異なります。

No.011 オイルミストフィルタ交換

実施時期 4年毎(汚染状況による) 
標準作業時間 0.5H
使用・交換部品 フィルタ

No.012 ゲートバルブ交換

実施時期 4年毎 
標準作業時間 4.0H
使用・交換部品 ゲートバルブ、ガスケット
備考 装置使用頻度に依存します。

No.013 ロータリーポンプ交換

実施時期 5年毎 
標準作業時間 2.0H
使用・交換部品 ロータリーポンプ、防振ゴム

No.014 QMS分解能・質量軸調整

実施時期 毎年 
標準作業時間 2.0H
使用・交換部品 調整用標準ガス

No.015 QMSイオン源交換

実施時期 2年毎(汚染状況による) 
標準作業時間 2.0H
使用・交換部品 イオン源、ガスケット

No.016 真空立ち上げ・ベーキングセット

実施時期 毎年 
標準作業時間 2.0H

No.017 オーバーホール後の性能確認

実施時期 毎年 
標準作業時間 5.0H
使用・交換部品 チェック用サンプル一式
備考 メンテナンスをする際は、必ず実施します。

No.018 QMS検量線用測定

実施時期 毎月
標準作業時間 1.0H
使用・交換部品 イオン注入ウェハー
備考 ベーキング1日以上実施後に行います。

No.019 QMS特性補正用測定

実施時期 毎年  
標準作業時間 3.0H
使用・交換部品 イオン注入ウェハー(各種)
備考 ベーキング1日以上実施後に行います。
  • 製品についてご相談・ご質問等ございましたら、お気軽にお問い合わせください。
  • お問い合わせ

Copyright© 電子科学株式会社All Rights Reserved. login