SEMICON TAIWAN 2023に出展します!
カテゴリ: News & Topics
公開日:2023年03月01日(水)
本年は、電子科学もSEMICON TAIWANにパネル出展いたします。
(公式HP URL:https://semicontaiwan.org/en)
展示会場は、ブース番号:N1090となります。
内容としては、
1)PECVDで製膜したSiN膜中のH2OとNH3のTDS分析
2)PEALDで製膜したSiO2膜中のH2OのTDS分析
の2点となります。
ご来場、お待ち申し上げます。